Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) kombiniert elektrische wie auch mechanische Aspekte auf einem einzigen Chip.
Die FT-MPS02 MEMS Probestation ist ein Wafer-Level MEMS Testinstrument, welches es erlaubt schnelle, benützerfreundliche und gleichzeitiges testen von mechanischen, elektrischen und geometrischen Eigenschaften von MEMS Chips.